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英特尔完成首台商用高数值孔径EUV光刻机组装
格隆汇4月18日|美国芯片公司英特尔宣布,其代工厂已接收并完成组装业界首台商用高数值孔径(HighNA)极紫外(EUV)光刻机。据介绍,这套重达165吨的设备是阿斯麦(ASM...
格隆汇4月18日|美国芯片公司英特尔宣布,其代工厂已接收并完成组装业界首台商用高数值孔径(HighNA)极紫外(EUV)光刻机。据介绍,这套重达165吨的设备是阿斯麦(ASM...